全自動晶圓探針臺SKD3000
全自動晶圓探針臺SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大規(guī)模集成電路）和VLSI（超大規(guī)模集成電路）晶圓測試的探針臺。
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產品描述
概述：
全自動晶圓探針臺SKD3000是一款用于8/12inch LSI（大規(guī)模集成電路）和VLSI（超大規(guī)模集成電路）晶圓測試的探針臺。
優(yōu)點特點：
1、高精度探針臺測試主體的X/Y軸的絕對定位精度可達±2μm；
2、高剛性Z/θ軸能實現(xiàn)Chuck長時間穩(wěn)定測試；
3、提供自動上料功能，擁有探針與Pad自動對位功能。采用獨立的光學系統(tǒng)使探針卡上所有的針尖能夠自動精準地扎在相應的Pad上；
4、設備參數(shù)和運行狀態(tài)信息等數(shù)據(jù)可以自由發(fā)送或接收到硬盤和外部計算機系統(tǒng)，方便實時查看和追溯分析。
參數(shù)規(guī)格：
| 序號 | 項目 | 內容 | 備注 | |
| 1 | 機臺尺寸及重量 | 尺寸（L*W*H） | 1590*1620*1460mm | |
| 2 | 重量 | 約2.2T | ||
| 3 | 晶圓尺寸規(guī)格 | 晶圓直徑 | 8"/12" | |
| 4 | 晶圓厚度 | 150~2200μm | ||
| 5 | 厚度偏差 | ≤±50μm | ||
| 6 | Die尺寸 | 0.2~100mm | ||
| 7 | 測試方向 | 測試順序 | X/Y方向連續(xù)探測 | |
| 8 |
θ |
可調節(jié)范圍 | ±5° | |
| 9 | 分辨率 | 0.00007° | ||
| 10 | X/Y軸 | 精度 | ≤±2μm | |
| 11 | 最大速度 | 250mm/s | ||
| 12 | 探測行程 | ≥±160mm | ||
| 13 | 分辨率 | 0.1μm | ||
| 14 | Z軸 | 精度 | ≤±2μm | |
| 15 | 最大速度 | 50mm/s | ||
| 16 | 行程 | ≥80mm | ||
| 17 | 分辨率 | 0.1μm | ||
| 18 | OD范圍 | 0~500μm | ||
| 19 | Index Time | 循環(huán)時間 | 230ms（6mm以內的Die Z升降0.5mm） | |
| 20 | 預對準 | 精準度 | 角度≤±0.5°，中心位置≤0.2mm | |
| 21 | 觸摸屏 | 規(guī)格 | 15Inch五線電阻式 | |
| 22 | 大電流測試 | 電流范圍 | 0~800A | 選配 |
| 23 | 高壓測試 | 電壓范圍 | 0~3000V | 選配 |
| 24 | 高低溫測試 | 溫度范圍 | -60~200℃ | 選配 |
| 25 | 控溫精度 | ±0.1℃ | ||
| 26 | 溫度穩(wěn)定性 | 0.1℃ | ||
| 27 | 溫度均勻性 | ≤100°C時≤+0.5°C ＞100°C時＜+0.5% |
||
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